金融界2024年12月31日音讯，国家知识产权局信息数据显现，甬矽电子（宁波）股份有限公司获得一项名为“薄膜堆积设备”的专利，授权公告号 CN 222226536 U，请求日期为 2024 年 5 月。
专利摘要显现，一种薄膜堆积设备，触及半导体工艺设备技术领域。该薄膜堆积设备包括晶圆渠道和加热渠道，晶圆渠道接近加热渠道的一面设有容置槽，加热渠道可拆卸衔接于容置槽内，且加热渠道与晶圆渠道相向设置的一面呈面触摸，加热渠道用于对晶圆渠道加热。该薄膜堆积设备可以在加热设备产生损坏时便于修理，可以下降薄膜堆积设备的修理本钱。
